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高性能場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的日常維護(hù)與保養(yǎng)介紹

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  高性能場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡具有超高分辨率,具有高性能X射線能譜儀,能同時(shí)進(jìn)行樣品表層的微區(qū)點(diǎn)線面元素的定性、半定量及定量分析,具有形貌、化學(xué)組分綜合分析能力,能做各種固態(tài)樣品表面形貌的二次電子象、反射電子象觀察及圖像處理。
 
  高性能場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的日常維護(hù)與保養(yǎng):
 
  1、保持儀器操作平臺(tái)干凈整潔,不要靠在上面,不要將重物放在冰水器和其他設(shè)備上。
 
  2、啟動(dòng)機(jī)器時(shí),必須先打開水冷系統(tǒng),并檢查冷卻水的溫度。關(guān)閉機(jī)器至少15分鐘后,可以關(guān)閉冷卻水。
 
  3、進(jìn)樣時(shí),檢查Z軸和T軸的位置。緩慢關(guān)閉樣品室,確保樣品室門*關(guān)閉,然后單擊EVAC按鈕抽氣。
 
  4、移動(dòng)樣品。將階段驅(qū)動(dòng)器移動(dòng)到X和Y軸以移動(dòng)樣本,并確保其小于最大允許值。
 
  5、將樣品傾斜-10°~+45°,小心不要損壞探針。傾斜角度應(yīng)根據(jù)樣品臺(tái)和樣品條件選擇。注意,樣品可以傾斜的最大安全角度必須小于允許值,以防止樣品撞擊物鏡極靴。
 
  6、使用BSE探頭時(shí),不要傾斜樣本臺(tái)。
 
  7、只有在關(guān)閉加速電壓的情況下才能取出樣品,不進(jìn)行樣品掃描時(shí)應(yīng)關(guān)閉高壓。
 
  8、排氣時(shí)必須關(guān)閉HT,120秒后必須輕輕打開樣品交換室的門。
 
  9、更換鎢絲時(shí),等待兩分鐘,然后打開電子槍,用專用工具取出鎢絲和鎢絲罩,以免燙傷。
 
  10、電子顯微鏡需要手動(dòng)調(diào)節(jié)的部件主要包括光圈、像散和調(diào)節(jié)工作距離的旋鈕。
 
  11、每周添加兩到三次液氮,間隔不超過(guò)四天。

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